一、仪器简介

1、型号：SPEC-EUV-500

2、生产厂家：创谱仪器

3、主要技术指标：

3.1测试波长范围：50~200 nm；

3.2狭缝开口：0-300 μm连续可调；

3.3光谱分辨率：0.4 nm；

3.4系统真空度：<1×10^-6mbar；

3.5探测器：CCD；

3.6波长精度：<0.05 nm；

二、设备功能（测试项目）

针对50~200 nm的真空紫外激光光谱进行精确测量

三、样品要求

真空环境、准直光入射

四、收费标准

校内：开机费300元，每个样品1000元。

校外：开机费300元，每个样品1500元。

五、联系方式

1、联系人：王正平，15066661973，zpwang@sdu.edu.cn

2、设备放置地点：功能晶体材料楼217